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觉芯电子:多技术方案MEMS振镜产品,助力激光扫描应用迈向新台阶

MEMS  · 公众号  ·  · 2024-09-19 00:00
    

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MEMS振镜是一种将激光束以指定方式投射的微执行器,被广泛应用于激光雷达(LiDAR)、激光显示、光通信、3D传感等领域。其芯片部分基于成熟半导体工艺制造,易于批量生产,具有良好的一致性。以驱动方式不同,目前主流的技术方案分为电磁式、静电式、压电式三种。据麦姆斯咨询报道, 觉芯电子通过多年自主研发,已同时具备电磁、静电和压电MEMS振镜批量供应能力。 MEMS振镜赋能车载激光雷达 近年来,车载激光雷达实现了批量上车,并开始渗透十几万元车型的大众市场,其中MEMS激光雷达正是攻坚拔寨的主角之一。电磁二维振镜,基于通电线圈在磁场中受力驱动镜面运动,由于突出的准静态驱动能力,可以提供更大的镜面尺寸,从而提高同轴收发光路的通光口径。 但市面上主流产品的镜面直径不超过8mm,阻碍了探测距离进一步提升。 觉芯电 ………………………………

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