国内首家国产半导体量检测设备厂商：睿励科学仪器战略融资5亿元，填补空白

文章预览

近日，国内首家国产半导体量检测设备厂商： 睿励科学仪器完成近5亿元战略融资。 本轮投资由 金石投资、招商致远 联合领投， 河南资产、金信资本、鼎青投资 等跟投。 本轮融资资金主要用于进一步 提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力， 丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。 关于睿励科学仪器 睿励科学仪器（上海）有限公司（简称：睿励科学仪器）是于2005年创建的合资公司，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的 集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备。 公司从事集成电路生产制造工艺检测设备的开发和研制，为用户 提供光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、缺陷检测、等离子体灰化等产品， 广泛用于科学仪器、微电子等领域，目前拥有的主要产品包括 光学检测设备、硅片厚度及 ………………………………