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何时用下一代EUV光刻机?台积电这样说!

半导体芯闻  · 公众号  ·  · 2024-07-29 18:44
    

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👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~ 来源:内容来自经济日报 ,谢谢。 TechTechPotato YouTube 近期上传台积电资深副总暨副共同营运长张晓强29分钟、近半小时的访谈,期间张晓强回应主持人提问关于高数值孔径极紫外光(high-NA EUV)微影设备相关议题时提到,相信台积电研发团队会做出最好决定,在合适的技术节点采用。 主持人提问最近参访晶圆厂,了解到ASML最新的high-NA EUV微影设备,而英特尔公开提到希望成为率先采用的厂商,不知道台积对high-NA EUV应用有什么规划? 张晓强回应说,相信台积电研发团队将继续专注于新的EUV应用,这明显包含高数值孔径极紫外光设备,我们将选择合适的技术节点来使用,毕竟需要考虑很多因素。 张晓强也说,显然存在可扩展性因素,还有制造成本因素,所以我相信我们的研发团队会做出最好的决定 ………………………………

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