中央化学品配送系统

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      从半导体原材料到转化为各式各样的集成电 路或者分立器件，其转化过程利用了几百种复杂程度不同的化学反应。毫无疑问，在半导体的制造工业中，需要大量的特殊材料和化学品。芯片制造首要是一种化学工艺，或者更准确地说，是一系列的化学 物理工艺过程，高达20％工艺步骤是 wafer 清洗和表面的处理。近年来光电与光伏半导体工业发展迅速，相关的制程越来越复杂，线宽越来越窄（已将进入纳米级)，工艺要求也越来越高，生产过程需要使用大量的化学药品，而这些化学品都具有一定危险性和腐蚀性，稍有疏忽，就会造成人员伤亡和设备的损失，所以如何将这些化学品在保证品质的前提下安全输送到制程设备并安全使用是至关重要的，同时如何将这些使用过的化学品合理地回收处理，也将是半导体产业工厂生产安全的重要问题，这些 ………………………………