香港科技大学/南方科技大学，Nature Photonics！

文章预览

研究背景 随着氮化铝镓（ AlGaN ）深紫外（ UVC ）微发光二极管（ micro-LEDs ）技术的发展， UVC 微 LED 因其在无掩模光刻等应用中的潜力，逐渐成为研究热点。然而，目前这一技术仍面临光输出功率不足和效率低下等挑战，这严重限制了 UVC 微 LED 在实际应用中的推广和发展。 为了解决这些问题，香港科技大学 Feng Feng 等，南方科技大学刘召军教授等携手致力于优化微 LED 的制造工艺和光电特性，尤其是在小尺寸（ 3 µm 到 100 µm ）微 LED 的开发上。研究结果表明， 3 µm 的 UVC 微 LED 达到创纪录的外量子效率峰值为 5.7% 和最大亮度为 396 W cm – 2 。此外， 2540 像素每英寸的 UVC 微 LED 阵列表现出良好的发光均匀性和光束整形能力，为高分辨率光刻提供了可能性。 基于此，研究者们设计了 320 × 140 分辨率的 UVC 微显示屏，专门用于无掩模光刻应用，通过定制的 ………………………………