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近年来,随着5G、新能源等高频、大功率射频及电力电子需求的快速增长,硅基半导体器件的物理极限瓶颈逐渐凸显,如何在提升功率的同时限制体积、发热和成本的快速膨胀成为了半导体产业内重点关注的问题,以碳化硅为首的第三代半导体材料在这一趋势下逐渐从科研走向产业化,并成为替代部分硅基功率器件的明确趋势。 1.碳化硅器件介绍 2.碳化硅器件的优势与应用 3.碳化硅衬底 4.碳化硅外延片 5.碳化硅器件划片 6.碳化硅器件的设计.制造与应用 总结 在高电压、大功率的电力系统升级的大背景下,碳化硅器件逐步替代部分硅基功率器件是较为明确的趋势,关键痛点在于供应稳定性和价格,这需要整个产业链从衬底、外延、器件到模块封装各个环节实现良率提升、产能扩大、产线稳定等的优化和改进。从当前产业状况而言,需求远大于产业链
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