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FD-SOI,迈向7nm

半导体行业观察  · 公众号  ·  · 2025-02-21 09:25
    

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👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~ 在半导体制造工艺的演进历程中,传统的CMOS工艺曾占据主导地位。然而,随着芯片技术不断向更高性能和更小尺寸迈进,传统体硅CMOS工艺制程遭遇挑战,由于光刻技术所限,特征尺寸已很难继续微缩,急需革新技术来维持进一步发展。 因此,在摩尔定律推动下,FinFET被市场选中,成为时代的幸运儿。自2011年英特尔将其商业化后,FinFET迅速成为了半导体器件的主流选择,从28nm之后,相继成功推动了数代半导体工艺的发展,并将其扩展到7nm、5nm,甚至3nm工艺节点,成为台积电、英特尔、三星等全球主流晶圆厂的“不二之选”。 实际上,在进入28nm节点时,半导体逻辑制造工艺出现了两条分岔。一条路线走向了大家比较熟悉的FinFET三维工艺;另一条路线则还在坚守平面工艺,被称为FD-SOI,主要代表厂 ………………………………

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