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近日,半导体刻蚀器件、高功率激光器件、特种陶瓷厂商: 成都超纯完成新一轮融资。 本轮投资方为 华泰紫金、TCL资本、芯动能投资、尚颀资本、基石资本、建信信托、沃衍资本、丰年资本 等机构。 关于 成都超纯 成都超纯应用材料有限责任公司(UPAM)成立于2005年, 位于中国成都双流航空港开发区, 研发及厂房超过一万平方米,是一家以技术为先导的 半导体刻蚀器件,高功率激光器件、特种陶瓷 的国家高新技术制造企业。 在半导体设备加速国产替代的浪潮中,核心零部件是平台设备的核心。成都超纯 从最核心的刻蚀、成膜、扩散和外延设备所涉及的核心零部件产品入手, 生产的产品技术涉及到第二代和第三代半导体必须要用到的 电感耦合等离子体刻蚀设备耐刻蚀膜层技术,电容耦合等离子体刻蚀设备耐刻蚀膜层技术,气相沉积碳化硅 CVD-Si
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