合肥综合性国家科学中心——前沿交叉研究平台【15】：新型宽禁带功率半导体核心装备、基础材料及器件先进工艺技术研究平台

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平台基本情况 新型宽禁带功率半导体核心装备、基础材料及器件先进工艺技术研究平台是合肥综合性国家科学中心前沿交叉研究平台入库项目，聚焦新型宽禁带功率半导体基础材料、电力电子器件以及面向汽车的电子应用技术，打造新型宽禁带功率半导体高技术研发平台，具有产业影响力的创新公共服务平台，以及高端人才培养平台。平台的依托单位为西安电子科技大学芜湖研究院，该研究院是芜湖市人民政府与西安电子科技大学联合共建的微电子领域人才培养与科学研究平台，致力于氮化镓、碳化硅、金刚石等为代表的第三代半导体、集成电路、汽车电子等领域的关键技术研究及产业化推广。 平台功能 1.碳化硅功率器件、氮化镓材料及电力电子器件中试线。 包含碳化硅、氮化镓材料生长所需化学气相沉积系统，核心器件制造所需高能离子注入 ………………………………