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电子特气被称为半导体材料的“粮食”和“源“ 数据显示,2015年,我国集成电路市场规模达到1.1万亿元,同比增长6.1%。在云计算、物联网、大数据等产业带动下,集成电路产业继续保持高速增长。 在微电子、光电子器件生产过程中,从芯片生长到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体,因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。电子气体成本占IC材料总成本的5%-6%,虽然看似占比不大,但是很大程度上决定了半导体器件性能的好坏。电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件质的飞跃。 电子特气行业的技术壁垒 1,深度提纯技术难度较大 以硅烷为例,将其纯度由4N提纯到6N中间有漫长的道路,除了要解决普通气态杂质的纯化问题,还要将金属元素净化到 10 -9 级和10 -12 级 。 2,包装和储运跟不上 超高纯气
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