台积电的EUV成功之路

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点击这里 👇 关注我，记得标星哦～ 尽管台积电不能声称自己是第一家使用极紫外（ EUV）光刻技术的晶圆厂——这个头衔属于三星——但他们确实声称自己是最大的晶圆厂。 因此，该公司多年来在EUV方面积累了丰富的经验，使台积电能够改进他们使用EUV 光刻机 的方式，以提高生产率 /正常运行时间，并降低使用超精细工具的成本。 作为该公司本周欧洲技术研讨会的一部分，他们更详细地介绍了他们的EUV使用历史，以及他们进一步将EUV集成到未来工艺节点中的进展。 当台积电于2019年开始在其N7+工艺（用于华为的海思）上使用EUV光刻技术制造芯片时，它拥有全球42%的EUV光刻机安装量，即使ASML在2020年增加了EUV光刻机的出货量， 台积电在EUV安装中的份额实际上增加到了50%。 展望 2024 年，台积电的 EUV 光刻系统数量比 2019 年增长了 10 倍，尽管三星和 ………………………………