中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术正在测试？

主要观点总结

中国自主研发的EUV机器正在测试，采用激光诱导放电等离子体（LDP）技术，该技术拥有多个优势并有望带动相关产业发展。同时介绍了光刻机LDP技术和LPP技术的原理、优势及挑战，并提供了相关概念股的信息。

关键观点总结

关键观点1: 中国自主研发EUV机器采用LDP技术进行测试

该机器目前在华为东莞工厂进行测试，试生产计划于2025年第三季度进行，量产计划于2026年进行。

关键观点2: LDP技术的优势

包括能量转换效率高、成本低、设备体积小、技术自主性强、维护成本低等。

关键观点3: LDP技术面临的挑战

需要优化参数和时序、解决功率输出限制等问题。

关键观点4: 光刻机LPP技术介绍

LPP技术是EUV光刻机光源的主流方案之一，具有功率和稳定性优势，但存在能量转换效率、设备成本和复杂性、污染和碎屑等问题。

关键观点5: 光刻机及相关产业链概念股

包括整机相关、光源系统、光学器件、洁净设备、温控系统等其他相关企业。

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这个消息准确吗？ 中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术正在测试？ 中国自主研发的EUV机器采用激光诱导放电等离子体(LDP)技术，不同于 ASML采用的LPP方法，目前正在华为东莞工厂进行测试。试生产计划于2025年第三季度进行，量产计划于2026年进行。 光刻机LDP技术即激光诱导放电等离子体（Laser-Induced Discharge Plasma）技术，以下是关于它的介绍： 原理 首先利用激光将少量的锡汽化为云状物，随后在两个电极之间施加高压，将锡云转化为等离子体。在这个过程中，高价态的锡离子和电子频繁碰撞并辐射，从而产生极紫外光，其波长可达到13.5纳米，这种极紫外光正是EUV光刻技术所需要的光源。 优势 • 能量转换效率高：哈尔滨工业大学的相关技术能量转换效率达到4.5%，是ASML激光方案（LPP技术）的2.25倍，还有报道称能将电能转换效 ………………………………