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【行业知识】半导体制造生产线的前、中、后端

洁净工程联盟  · 公众号  ·  · 2024-09-05 11:20

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关注我们 以后就可以常见面啦!👆 半导体制造过程大致可分为三个阶段: 1)生产线前端 (Front end of line) 2)生产线中端 (Mid end of line) 3)生产线后端(Back end of line) 可以用盖房子这样一个简单的类比,来探讨芯片制造复杂的过程: 生产线前端 (FEOL):奠定基础 生产线的前端就像打地基和砌墙一样。在半导体制造中,这个阶段要在硅晶圆上创建基本结构和晶体管。 FEOL的关键步骤: 1.清洁:从一片薄薄的硅片开始,将其清洁以去除任何杂质。 2.氧化:在晶圆上生长一层二氧化硅,以隔绝芯片的不同部分。 3.光刻:光刻技术用于在晶圆上蚀刻图案,可以把它想象成用光在晶圆上绘制蓝图。 4.蚀刻:将不需要的二氧化硅蚀刻掉,露出所需的图案。 5.注入:将杂质引入硅中以改变其电性能。此步骤创建晶体管,晶体管是任何芯片的基本构 ………………………………

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