【半导体设备出海】：优睿谱成功交付境外客户SICD200设备

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近日，上海优睿谱半导体设备有限公司（简称“优睿谱”）成功交付境外客户一款碳化硅衬底晶圆位错及微管检测的全自动设备。 优睿谱总经理唐德明博士介绍SICD200设备具有以下 技术特点 ： 兼容6 & 8寸SiC 衬底位错和微管缺陷检测；该设备为全自动设备； 高分辨率实时对焦高速线扫描成像技术，较于传统的面阵扫描，检测速率提升数十倍以上，实现整片晶圆位错缺陷全检测（腐蚀片），大幅减少客户设备购买数量； 采用深度学习算法(AI)，有效提高位错检测准确度，同时实现位错分类； 可对接碳化硅衬底厂家的MES系统，实现工厂自动化生产； 设备提供的晶体内应力检测功能，可用于碳化硅的籽晶筛选。 图1：SICD200设备图片 唐德明博士表示，在整机软件和缺陷检测算法层面，SICD具备以下 技术优势 ： 可视化动态位错标注显示； 实时线扫检测进程 ………………………………