面上项目（63万）：集成光学陀螺用高品质因数单偏振氮化硅波导谐振腔

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导读 近日，  北航 的研 究团队， 成功完成了面上项目（63万） ： 集成光学陀螺用高品质因数单偏振氮化硅波导谐振腔 。 集成光学陀螺具有全固态、利于片上集成、可靠性高等技术优势，在无人自主导航领域具有重要发展潜力，而波导谐振腔是集成光学陀螺的核心敏感器件，直接决定着陀螺的检测精度。本项目针对集成光学陀螺遇到的偏振噪声大、检测精度低的技术瓶颈，创新性地提出高品质因数单偏振氮化硅波导谐振腔。利用极低深宽比氮化硅波导结构和弯曲波导的合理设计，实现波导谐振腔的单偏振特性；采用基于对称式耦合器的透射式波导谐振腔设计方案，抑制耦合器附加损耗和偏振交叉串扰；通过深入研究极低深宽比氮化硅的导波机理、加工工艺和样品表征方法，揭示其损耗引入机制，提出利用多次高温退火和波导芯层镶嵌工艺，降低 ………………………………