当金刚石遇上“光”

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金刚石是制造电子和光学设备的理想材料，其应用需具有无损伤原子级超光滑表面，但其加工难度极大、加工成本极高。而超精密抛光技术能够降低表面粗糙度，去除亚表面损伤，为外延和生长创造良好的条件，将会在制备大尺寸高质量金刚石衬底中发挥关键作用。 / 超精密抛光 抛光在众多材料加工过程中占据着重要地位。抛光的目的在于去除研磨坑以及材料表面的微凸峰，从而提升表面平整度；消除材料表面的损伤层、变质层以及残余应力；降低材料表面粗糙度，进而提高最终加工表面的质量，以满足相关要求。 为了得到更好的加工表面，金刚石材料的抛光可以从粗抛光和超精密抛光两个方面进行。 粗抛光一般是利用微小粒度的金刚石颗粒机械抛光研磨后的表面损伤层，然后进一步降低材料表面粗糙度。为了得到无损伤、超光滑的金刚石表面 ………………………………