一文读懂原子尺度表征神器——扫描透射电子显微镜（STEM）之基本原理与应用

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1、引言 自古以来，人类从未停止过对微观世界的探索，采用波长更短的电子束为光源的电子显微仪器打破了可见光的衍射极限，为人类打开了观察纳米世界的大门，使人们看到了在纳米尺度上研究单一原子和分子反应的可能。 扫描透射电子显微镜(STEM)是透射电子显微镜(TEM)的一种发展。近些年，伴随球差校正器的引入，STEM的空间分辨率达到了亚埃米级，已经可以实现单个原子柱成像观察。综合能量分辨率为亚电子伏特的电子能量损失谱分析，STEM能够实现在纳米和原子尺度上对材料微结构与精细化学组分的表征与分析。在冶金、材料、环境科学、生物科学等领域均具有巨大的应用潜力。 2、STEM的发展历史 1924年，路易斯·德布罗意(Louis de Broglie)提出“物质波”假说。 1927年，戴维孙(Davisson)通过电子衍射实验证实了电子的波粒二象性，奠定了电子显 ………………………………