低成本聚合物微流控芯片加工技术

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来源：微流控芯片分析技术 引 言 微流控技术最初源自于微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)在微量流体操控方面的研究，形成于20世纪90年代初。最近十年来，伴随着分析化学和生命科学的蓬勃发展，由于微流芯片系统具有试剂和能量消耗少、检测和分析灵敏度高、检测时间短、可将多种功能集成化程度高等优势，在纳米纤维合成、纳米复合物制备、量子点合成、微纳米颗粒制备、电化学传感器、生物化学传感器、细胞生物学、分子生物学等领域得到了广泛的应用。通过微流控技术，可以将复杂的化学或生物分析合成过程整合在一块芯片中完成，实现了微全分析系统(μTAS)或被称为芯片上的实验室(lab-on-a-chip)。 初期的微流控芯片加工技术完全继承自MEMS加工技术，步骤都需要在超净间内使用精密微加工设备完成，芯片的设计加工成本非常高昂， ………………………………