半导体行业（一百三十三）——形成器件和集成电路（十五）

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01 声波器件 声波器件（参见下图）是用在微波信息系统中的非硅固态元件。它们可以把微波转化成电脉冲。有些化合物材料有这样的性质，比如Be12Ge020,对于由普通的半导体工艺制成的芯片形成的固态电路来说，它既能感应波，又能感应电信号。 02 微机械系统 半导体技术的发展使由滑动部件生成微型机械系统成为可能。表面图形的定义很容易理解。困难的是，在表面的下方进行刻蚀使部件自由，这也是这项应用最大的挑战。尽管如此，微机械系统诞生了。例如，德州仪器公司生产出由许多单元组成的阵列，每个单元都有一个浮动的薄层面板，同时这个面板被每个角落的“铰链”所悬吊。一个薄氧化层使该面板可以折射光。在线电子电路可以控制信号到铰 ………………………………