利用参数对称性破缺提高非线性MEMS传感器的灵敏度

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由于成本低、灵敏度高、动态范围宽，MEMS谐振传感器已被广泛应用于惯性导航、地震探测和消费电子等诸多领域。传统上，谐振传感器的工作机制基于跟踪线性振动范围内的频率偏移。然而，环境热噪声、电路元件干扰和电气耗散等许多工作条件都会严重影响信噪比（SNR）的提高，从而降低这些在线性范围内工作的传感器分辨率。 近年来，人们发现参数耦合、内部谐振、同步和非简并参数谐振等非线性效应可显著提高振荡器和谐振传感器的性能。在非线性环境下实现更好的性能引起了广泛关注。 据麦姆斯咨询报道，近日，西安交通大学韦学勇教授团队提出了一种增强灵敏度的新型传感方案，依赖于外部扰动下参数隔离分支的非线性收缩。与Papariello等人提出的传感范式相比，相同数量的外界激励会引起更显著的频率偏移。首先，研究团队从理论和 ………………………………