微片激光器移频回馈成像技术及其应用

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本文内容转载自《半导体光电》2019年第6期，版权归《半导体光电》编辑部所有。   周博睿，王子涵，沈学举 中国人民解放军陆军工程大学电子与光学工程系，北京林业大学理学院   摘要： 微片激光器移频回馈成像技术是一种新兴的相干光成像技术，具有灵敏度高、相位可测量、系统结构简单等特点。 该项技术可与共聚焦成像、超声调制光学成像、光学合成孔径成像等多种成像技术相结合，在微器件结构测量、生物组织成像、强散射成像等多个领域得到了应用。 文章概述了激光器回馈技术的发展过程，详细介绍了微片激光器移频回馈成像技术的理论模型、研究进展及应用情况，并对该技术存在的问题进行了分析。   关键词： 激光回馈； 自混合干涉； 激光成像； ………………………………