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1. 探针更换原因 探针更换的主要原因是因为探针在现场使用一段时间后接触硅片后电阻值会增大，影响测试的准确性，而电阻值增大的原因有以下几个原因： 材料腐蚀、表面氧化、物理污染、机械磨损以及环境影响等。 2. 电阻值过大影响 ① 性能下降： 电阻值过大会导致电流限制，使设备无法正常运行或性能下降。 ② 能耗增加： 为克服电阻值过大的问题，设备可能需要消耗更多的能源，导致能耗增加。 3. 腐蚀影响 ① 材料腐蚀： 探针的金属部分在腐蚀性介质中会逐渐被腐蚀，导致其直径减小，从而使得电阻值增大. ② 腐蚀监测系统的应用： 电阻探针测定技术能够反映设备管道的腐蚀情况，通过测量电阻的变化来监控腐蚀程度. ③ 温度补偿：为了消除温度引起的测量误差，探针设计时会加入温度补偿元件，以确保测量准确性。 4. 表面氧化 ①
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