2024, Nature Communications——T形层叠技术：打造超高密度垂直MoS₂晶体管！

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文章链接： https://www.nature.com/articles/s41467-024-50185-4#Sec7             摘要 垂直晶体管是源极和漏极垂直对齐，电流垂直于晶圆表面的一种新型晶体管，近年来受到广泛关注。然而，实现高密度垂直晶体管面临挑战，这主要归因于垂直结构与传统横向制造工艺的不兼容。本文报道了一种T形层叠方法，成功实现高密度垂直侧壁晶体管。该方法首先在平面基板上预制横向晶体管，然后使用T形模具将其层叠到垂直基板上，从而克服了平面工艺与垂直结构之间的不兼容性。基于这一技术，我们 在小的垂直空间内堆叠了60个MoS₂晶体管，相当于每平方厘米设备密度超过10 8 个 。此外，我们还展示了两种可扩展的垂直侧壁晶体管阵列制造方法，包括同时层叠到多个垂直基板上，以及在同一垂直基板上通过多次层叠进行层层制造。             研究背景和主要 ………………………………