氟等离子体为什么具有强腐蚀性？

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文章来 源 ： Tom聊芯片智造 原文作者：Tom 本文介绍了氟等离子体为什么具有强腐蚀性。 沉积刻蚀腔室内部容易被F自由基气体腐蚀，为什么？有哪些耐等离子体F自由基腐蚀的材料？ 什么是自由基？ 如图， 自由基是指存在一个或多个未成对电子的原子或分子。 F自由基为什么具有腐蚀性？ 由于存在未成对电子，自由基非常不稳定和高反应性。自由基可以迅速与其他分子反应，形成新的化学键。而氟的电负性极高，它能够与其他原子形成更加强烈的化学键，从而迅速腐蚀材料表面。在F等离子体环境中，腔室材料与F自由基的反应速率会非常高。 有哪些耐等离子体 F自由基腐蚀的材料？ 碳化硅：是一种化学性质稳定、导热系数高、热膨胀系数小、耐磨性能优异的无机非金属材料。在等离子体轰击其表面时，SiC的原子损失率相对较少。 氧化钇（Y2O3）： ………………………………