超薄柔性GMR电子皮肤，实现非接触式交互和压力传感

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过去二十年来，可穿戴电子设备的普及率急速增长，尤其是人机界面（HMI）应用。其中，能够监测人体健康、跟踪运动和活动，并作为人机界面的电子皮肤得到了广泛关注。这些电子皮肤大多是在模拟皮肤特征的同时保留其自然特质。柔性磁传感器，如巨磁阻（GMR）、隧道磁阻（TMR）、各向异性磁阻（AMR）、巨磁阻抗（GMI）和霍尔传感器等，已成为快速发展的人机界面领域的重要组成部分。这些柔性磁传感器为人类拓展感知（即磁感知）开辟了新途径。 GMR传感器因其电阻的显著变化而成为磁检测领域的主流技术之一。目前，柔性GMR传感器主要通过在超薄箔上沉积Co/Cu、Py/Cu或Pd/Co叠层来制造。然而，这种配置对小磁场的灵敏度有限。此外，传统制造柔性GMR传感器需要在聚合物衬底和刚性支撑之间引入牺牲层。分离过程通常是手工操作，效率低下，进 ………………………………