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1、引言 扫描电子显微镜是现代材料科学(金属材料、非金材料、纳米材料等)、生物学、医学、半导体材料、化学化工等科技领域中常见的分析工具。越来越多的科研人员选用扫描电子显微镜进行三维形貌观察和分析、微区的成分分析等。在扫描电镜分析过程中, 样品制备是至关重要的一个环节 ,会直接影响观察效果、照片质量、设备寿命等。因此,本文专门针对 SEM样品要求和制备方法 进行详细讲解,带你从制样小白变大牛。 2、SEM样品要求 2.1 样品不含水分 湿的样品会释放出水蒸气,往往真空度很难上去,而且水蒸气遇到高能电子束,会被电离,还会增加电子束能量分散,会使成像模糊分辨率降低;水蒸气还会与高温钨丝反应,加速电子枪灯丝挥发,极大的降低了灯丝的寿命;在高真空状态下,大部分含水样品的表面易发生变形,这会导致
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