金刚石材料加工去除机理

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金刚石具有极其优异的物理化学性能，在超精密加工、半导体、航空航天、核能等高新技术领域具有广泛的应用前景，甚至在许多领域中成为不可替代的材料。 金刚石材料的应用 金刚石加工方法细分有二十多种。目前，研究和应用较多的是金刚石抛光技术，主要有机械抛光、热化学抛光、动摩擦抛光、化学机械抛光、激光抛光、离子抛光以及电火花抛光等。 那么，在抛光过程中，材料是如何被去除的呢？ 关于金刚石材料的去除机理，主要有 微破碎、石墨化、气化、溅射以及化学反应 这五种类型。 微破碎 机械研磨抛光是使用最早应用最广的抛光技术，其材料去除方式就是金刚石表面材料的微破碎去除。 微破碎去除是金刚石试件表面与金刚石磨粒或者较硬的陶瓷抛光盘接触、挤压和摩擦，产生压力和剪切力，使得金刚石的表面材料发生破坏，进 ………………………………