上海技术物理研究所，复旦大学Mat. Sci. Eng. R综述：二维晶体管的界面—推动性能和集成的关键

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【研究背景】 诺贝尔奖物理学奖得主Herbert Kroemer教授曾提出一个著名观点：“the interface is the device”，高度强调了界面对器件性能的关键作用。当前，传统的硅基场效应晶体管（FETs）面临着巨大的尺寸缩小挑战。二维（2D）半导体以其原子级厚度和光滑表面，成为推动晶体管“More Moore”尺寸缩小的主要候选材料。然而，原子级薄的结构特性使得2D材料本质上仅呈现为一个表面，而2D FETs则仅仅由几个关键界面组成，例如金属/半导体界面、电介质/沟道界面等。这些界面的复杂性与特殊性深刻影响了2D FETs器件的最终性能及极限水平。同时，这些界面也构成了当前2D FETs实现规模化制造、高良率、晶圆级、低可变性、高维度集成及应用等发展的最大挑战。 【成果介绍】 鉴于此， 上海技术物理研究所的王旭东研究员和复旦大学王建禄教授 发表了题为“Int ………………………………