光谷创造，国产光刻胶通过量产验证！

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近日，光谷企业在 半导体专用光刻胶领域实现重大突破： 武汉太紫微光电科技有限公司（以下简称“太紫微公司”） 推出的T150 A光刻胶产品，已通过半导体工艺量产验证， 实现配方全自主设计，有望开创 国内半导体光刻制造新局面。 该产品对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。 相较于被业内称之为“妖胶”的国外同系列产品UV1610，T150 A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大，稳定性更高，坚膜后烘留膜率优秀，其对后道刻蚀工艺表现更为友好，通过验证发现T150 A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。 太紫微公司成立于2024年5月，由华中科技大学武汉光电国家研究中心团队创立。 团队立足于关键光刻胶底层技术研发，在电子化学品领域深耕二十余载。 企业负责人、英国皇家化学会会员、华中科技大学 ………………………………