荷兰光刻专家Braat：极紫外光刻技术会被取代吗？前景未可预知

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加 星标 ，才能不错过每日推送！方法见文末动图 编者按 Joseph Braat教授，荷兰光学工程师、科学家，荷兰皇家科学与艺术学院院士。Joseph Braat教授以其在光学成像领域的贡献为人尊敬，每每与其交谈，都深受启发，收获良多。 1973年，Braat于法国高等光学研究所（Institut d’Optique Graduate School）博士毕业后，回到了荷兰的飞利浦公司（Philips）开展光存储技术的研究工作，参与并推进了Philips、 ASML等公司光刻技术的发展，在光路设计、早期光刻系统设计、衍射极限的光学成像等方面做出了突出贡献。之后Joseph Braat加入荷兰代尔夫特理工大学并在光学研究组任教。Joseph Braat教授发表了超60项美国专利及大量研究论文，其论著《成像光学》（Imaging Optics）现已成为光学领域的重要参考资料。 不久前， 荷兰代尔夫特理工大学的邵屹峰采访了 Joseph Braat教授。在 ………………………………