华科大-廖广兰&刘智勇︱基于氧等离子体修饰的PDMS-LiNbO3不可逆键合理论以及在声微流体中的应用

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本文来源于华中科技大学新闻网 ！ 一、研究背景：   基于声流控的“芯片实验室”是微流控的一个重要分支，因其结构简单、生物相容性好、非接触操作、无标记等优点广泛用于生物分子的分离、提取、富集，为基础研究、诊断和治疗提供了理想的平台。利用铌酸锂（LiNbO 3 ）压电衬底和聚二甲基硅氧烷（PDMS）微通道构建的SAW（Surface Acoustic Wave，声表面波）微流控芯片因其优异的性能而受到广泛关注。研究人员通常采用热压键合、胶接粘合、化学辅助键合和等离子键合实现二者的异质界面键合。然而，热压键合强度低，胶接粘合、化学辅助键合会引入介质层从而降低声表面波的传播，均难以实现PDMS和LiNbO 3 之间的高强度高性能键合。等离子键合是通过两个活化表面之间形成共价键以达到高强度结合的目的。并且等离子体键合不引入中间介质层， ………………………………