主要观点总结
本文主要介绍了如何实现洁净室的技术。文章中提到实现洁净室需要对多种污染源进行过滤和消除，包括颗粒物、液体颗粒和微生物等。文章还详细描述了洁净室的构建和维持洁净度的系统和方法，包括使用高效空气过滤器和超低渗透率空气过滤器等。
关键观点总结
关键观点1: 洁净室的实现需要过滤和消除多种污染源，包括颗粒物、液体颗粒和微生物等。
为了实现洁净室，需要对各种污染物进行有效的过滤和消除。这些污染物包括颗粒物、液体颗粒和微生物等，它们主要来自于人员活动、设备运行、原辅材料、作业方法和车间环境。
关键观点2: 洁净室的构建需要复杂系统，包括高效空气过滤器和超低渗透率空气过滤器等。
为了实现不同程度的洁净，洁净室需要构建复杂的系统。这些系统包括使用高效空气过滤器（HEPA）和超低渗透率空气过滤器（ULPA）等，以过滤空气中的污染物并控制室内的温湿度。
关键观点3: 洁净室的维持需要注意气压差异，以防止污染物自发流入。
为了维持洁净室的洁净度，需要注意室内外的气压差异。室内静压需要高于外界静压，以确保污染物不会自发流入。
关键观点4: 知识星球APP提供了大量关于洁净室技术的资料供会员下载学习。
知识星球APP内的文件涵盖了电子半导体、液晶面板、医疗制药、生物安全实验室等行业领域的洁净室技术。会员可以下载这些资料，学习并应用于实际工作中。
文章预览
文章来 源 ： 芯云知 原文作者：Crane 本文介绍了洁净室都是如何实现的。 由于外界环境的复杂性，实现Fab的洁净实际是非常不容易的。下表列出了主要污染的来源，其中，颗粒物大约占37-70%，液体颗粒大约占10-30%，微生物大约占5-20%。 序号 来源 污染物产生过程 污染物类型 1 人员活动 1、进入车间带入的颗粒物; 2、作业人员活动过程中产生的扬尘; 体液(Na)、肌肤(有机物) 颗粒物、金属元素、有机物 2 设备运行 1、设备运行造成的金属元素和颗粒物污染; 2、使用工器具造成的金属元素和颗粒物污染 颗粒物、金属元素 3 原辅材料 1、硅衬底污染(硅衬底加工过程中产生的金属元素残留、有机物、颗粒物); 2、水污染(溶解物、微细颗粒、微生物); 3、化学品污染(含有Fe、Cu等各类杂质); 4、工艺气体污染(固体微粒、细菌) 颗粒物、金属元素、有机物 4 作业方法
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