综述：基于双光子聚合3D打印的MEMS传感器研究进展

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双光子聚合（TPP）3D打印技术结合了光学非线性效应与飞秒激光超短脉冲和超高峰值强度，为材料加工带来了革命性改变。该技术从时间和空间两个维度将飞秒激光脉冲紧聚焦于光刻胶内部并诱导双光子聚合发生，实现了聚合物3D微纳结构的增材制造，为微机电系统（MEMS）传感器的发展和应用提供了新方法。 据麦姆斯咨询报道，针对该领域研究进展，深圳大学、香港中文大学等机构的研究团队进行了综述分析，系统介绍了双光子聚合3D打印的基本原理，综述了该技术在MEMS传感器方面的研究进展，并对该技术的未来发展方向进行了展望。相关研究内容以“基于双光子聚合3D打印的MEMS传感器研究进展”为题发表在《中国激光》期刊上。 双光子聚合3D打印基本原理 3D打印（又称“增材制造”）是实现复杂立体三维结构制造的重要方法，它突破了传统减材 ………………………………