探索 AlScN 薄膜：微观世界的卓越功能材料

主要观点总结

文章介绍了材料科学领域的新兴功能材料AlScN薄膜，包括其成分、结构、性能亮点、应用前沿以及宙讯微电子的AlScN磁控溅射工艺。

关键观点总结

关键观点1: AlScN薄膜的成分与结构

AlScN薄膜由铝、钪和氮组成，其独特的晶体结构通过精心设计的制备工艺形成，微量钪的融入深刻改变了材料的晶格特性。

关键观点2: AlScN薄膜的性能亮点

AlScN薄膜具有出色的压电效应，能够在机械压力和电场作用下产生精确的电信号和形变，这使得它在众多前沿科技领域中拥有无限潜力。

关键观点3: AlScN薄膜的应用前沿

AlScN薄膜在超声技术领域实现了高频超声换能器的突破，能够大幅提升超声成像的分辨率与灵敏度。此外，在微机电系统领域，它也被广泛应用于微型传感器与执行器的制造，为智能设备的稳定运行与精准控制提供保障。

关键观点4: 宙讯微电子的AlScN磁控溅射工艺

宙讯微电子采用先进的物理气相沉积技术制备AlScN薄膜，通过精确调节各种工艺参数，如温度、压力、沉积速率等，拥有全套高浓度掺钪氮化铝薄膜沉积技术和设备，可制备不同浓度的高质量、应力可控的氮化铝和掺钪氮化铝薄膜。

关键观点5: 未来展望

随着材料科学研究的不断深入与技术工艺的持续创新，AlScN薄膜的未来充满希望，有望在更多领域实现创新性应用，为科技进步和我们的生活带来更大的便利和效率。

文章预览

在科技飞速发展的今天，材料科学领域不断涌现出令人瞩目的创新成果。其中， AlScN 薄膜作为一种新兴的功能材料，正逐渐崭露头角，吸引着全球科研人员与科技爱好者的目光。 一、 AlScN 薄膜的成分与结构 AlScN 薄膜，主要由铝（ Al ）、钪（ Sc ）和氮（ N ）组成。其独特的晶体结构是通过精心设计的制备工艺形成的。微量钪（ Sc ）元素的巧妙融入，如同神奇的 “ 配方调整 ” ，深刻改变了材料的晶格特性，为其卓越性能奠定了坚实基础。 Fig 1. AlScN 晶体结构 二、性能亮点：压电性与更多可能 AlScN 薄膜最引人注目的性能之一便是其出色的压电效应。当受到微小的机械压力时，它能够精准地产生与之对应的电信号；反之，在电场作用下，又能迅速发生精确的形变。这种特性使得 AlScN 薄膜在众多前沿科技领域中拥有无限潜力。 Fig 2. 压电效应 三、 ………………………………