扫描电镜的分辨率和测量标准化问题讨论

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扫描电子显微镜（ SEM ）的分辨率是其核心性能参数之一， 传统定义 是指能够区分两个相邻物体的最小距离 ， 但 该 定义 在实际场景中 较为模糊，不同仪器制造商甚至采用不同的计算标准。这一概念可能指成像或 空间分辨率 ，通常用来衡量样品细节的清晰度，例如微小间隙的分辨能力或图像的锐利程度 —— 这与样品边缘信号转换的变化率密切相关。同时，它也可能指 测量分辨率 ，即定量区分样品特征或测量特性的能力 ， 强调测量精度 / 重复性。 空间分辨率关注的是两个相邻点能否被清晰分开识别，测量分辨率则是对单个特征的尺寸变化的检测能力。 在 CD-SEM 中， 测量分辨率通常远优于空间分辨率。 比如 CD-SEM 的低电压空间分辨率 在 1-3nm 范围，通常对应的测量精度要求 3 σ < 1nm 。 造成这种差异的技术原因是，测量分辨率主要依赖于信号 ………………………………