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东方晶源YieldBook 3.0“BUFF叠满”,芯片良率管理再添“新玩法”

半导体行业观察  · 公众号  ·  · 2024-07-19 09:25
    

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👆如果您希望可以时常见面,欢迎标星🌟收藏哦~ 来源:内容来自东方晶源 。 良率是芯片制造中的重要指标。如果说先进制程代表晶圆厂技术的领先性,那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性。在制造成本固定的情况下,良率越高单颗芯片成本越低。晶圆设计制造的每一步都影响着芯片的良率,因此芯片良率提升的关键在于对制造过程进行完整有效地监控检测,同时结合制造过程中的数据进行分析,及时发现问题和潜在风险,并反馈至集成电路制造端和设计端,改进工艺和设计。 针对行业这一需求和痛点, 东方晶源推出良率管理平台 YieldBook,经过两年多的迭代升级,近期3.0版本上线。该版本充分发挥东方晶源在计算光刻软件OPC和电子束量测检测机台领域的兼备优势, 成为业界率先实现对量测数据(MMS)、缺陷数据(DMS)、良率数据(YM ………………………………

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