同步提升PMUT带宽和声压，推动医学超声成像应用大众化

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医学超声影像设备广泛应用于人体健康诊断，超声换能器是其中的核心部件。基于块体型多晶或单晶压电陶瓷及复合材料的换能器，可以产生高声压和大带宽超声信号，进而得到高分辨率和高清晰度图像，因此现阶段在医学超声成像领域占据无可匹敌的统治地位。然而块体型压电陶瓷需经高精度机械切割制成单个元件，其生产效率较低且与先进半导体制造技术的兼容性不足，阻碍了超声诊断的受众规模和应用范畴，行业亟需创新的医用超声换能器实现方案。 压电式微机械超声换能器（PMUT）是利用半导体微纳工艺构建的MEMS换能器，具有以下优点：可批量生产、产量和良品率易于提升、成本低；灵活多样兼容性好，能够匹配各式各样的需求；与ASIC电路工艺无缝衔接，在开发微型化及2D阵列型换能器方面优势无与伦比，完美契合当前介入式IVUS和ICE及3D ………………………………