基于毛细效应的密封策略提升压电MEMS扬声器性能

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8月7日， Microsystems & Nanoengineering 期刊在线刊发了华中科技大学光学与电子信息学院余洪斌教授团队在压电MEMS扬声器领域最新研究成果“Capillary effect-based selective sealing strategy for increasing piezoelectric MEMS speaker performance”。 基于MEMS技术的新型硅扬声器以其体积小、能耗低、可批量制备等优点，被视为下一代扬声器的发展趋势。为了满足高声压级输出与低失真度的应用需求，现有压电MEMS扬声器多采用悬臂梁设计。该设计通常由多个悬臂梁组成，悬臂梁之间具有狭缝。然而，狭缝形成了扬声器空气泄露的通路，导致其低频段声压级下降。此外，由于加工的不均匀性，不同悬臂梁的尺寸容易产生偏差，其谐振频率难以保持一致。这导致了异步振动现象的产生，进而使得扬声器在谐振频率附近的声压级严重下降。 现有技术通过Parylene-C沉积、PDMS薄膜覆盖等 ………………………………