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1 什么是扫描电子显微镜 扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope ，缩写为SEM），简称扫描电镜，是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的显微分析仪器。 2 SEM的发展 2.1 SEM的发展历史 1935年提出扫描电子显微镜的设计思想 [1, 2] 。 1942年在实验室制成第一台扫描电子显微镜。 1965年在英国诞生了第一台实用化的商品扫描电子显微镜，表明扫描电子显微镜具有广泛的应用价值。 1965年以后是扫描电子显微镜的精细化发展阶段。 1968年场发射扫描电子显微镜研发成功，极大提高了扫描电子显微镜的分辨率。 2002年日本日立公司推出S-4800型高分辨场发射扫描电子显微镜（FESEM）。 2.2 SEM在中国的发展 1975-1983年，自行设计研制期，研制成功DX-3型SEM [3] 。 1983-1987年，从美国Amray公司的引进SEM技术并消化，推出KTYKY-1000B
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