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硅基光电技术

中国科学院半导体研究所  · 公众号  ·  · 2024-06-02 17:40
    

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文章来源: C Lighting 原文作者: 王凯(WangK) 长晶炉广泛应用于单晶硅、蓝宝石等行业,其中采用提拉法制备晶体的过程中,需要在晶体长大上升时,在已成形的晶体上方施加一定的拉力,确保晶体生长不偏移,使晶体尺寸受控。 长晶炉提拉绳使用环境特殊,使用条件复杂,只有使用由多股钨丝绞合而成的钨丝绳,质量才有保障。 钨丝绳由抗下垂钨丝缠绕而成,在机械性能和高温性能两个方面都具备一定的优势。 高熔点 长晶炉内为真空环境,钨丝绳在工作中最高温度超过1000℃,而钨的熔点非常高,约为3422°C,这使得钨丝绳能够在单晶炉中极端的高温环境下保持稳定。 高温强度 钨丝绳在高温下仍能保持较高的机械强度,这对于在高温下提拉硅晶体非常关键。为了同时保证钨丝从单根绕制成多股的过程中的成品率和效率,及绕制好的钨丝绳具备较 ………………………………

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