小尺寸高频PMUT的结构工艺及超声成像

文章预览

据麦姆斯咨询报道，2024年7月26日至28日， 天津大学副教授牛鹏飞 将参加 《第63期“见微知著”培训课程：声学MEMS与传感器》 并进行授课，具体信息如下： 授课主题： 小尺寸高频PMUT的结构工艺及超声成像 授课老师简介： 牛鹏飞，博士，现任天津大学精密仪器与光电子工程学院副教授。他的博士学位由西班牙巴塞罗那材料研究所ICMAB-CSIC和巴塞罗那微电子研究所IMB-CNM-CSIC联合培养，毕业后在美国国家标准与技术研究院（NIST）开展为期两年的博士后研究。他背靠天津大学精仪学院MEMS实验室，近年来主要开展压电MEMS传感器，尤其是高频高灵敏度PMUT的结构设计、工艺开发、超声成像及产业化应用研究。他承担国家自然科学基金、国家重点研发计划任务、天津市自然科学基金、计量测试技术研究院基金等项目，在高频高灵敏度PMUT传感器结构和关键工艺 ………………………………