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半导体材料:晶圆厂光刻材料的管理和规格要求(2058字)

材料汇  · 公众号  ·  · 2024-05-22 19:30

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点击上方 蓝字 关注我们,看更多行业报告 并将 “材料汇” 设为“星标⭐”,第一时间收获最新推送 写在前面 一直在路上,所以停下脚步,只在于分享 分享内容包括: 新 材料/ 半导体 / 新能源/光伏/显示材料 等 正文 一个集成电路生产线(Fab)是24小时不间断进行生产的,对光刻材料的供应必须准时、保质、保量。为此,Fab对这类材料有一套完整的管理办法。 一、光刻材料的供应链 光刻材料从生产、检验、包装、储存、运输、一直到进 Fab的整个过程被称为供应链(logistics) 。 Fab的光刻材料部门必须对供应商的整个供应链有明确的了解,并时常检查。Fab中的 光刻工艺是一周7天、一天24小时不间断的 ,任何一种光刻材料的短缺对生产线来说都是致命的。有些光刻材料需要在低温下运输和储存,否则在使用时会出现大量的颗粒和缺陷。光刻材料部门也 ………………………………

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