伦敦大学玛丽皇后学院Zhichao Weng和Oliver Fenwick课题组--在蓝宝石晶圆上直接生长的单层石墨烯电极忆阻器

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在忆阻器中使用石墨烯作为电极还可以增加抗降解机制的稳健性，包括氧空位扩散到电极和不需要的金属离子扩散。然而，为了实现这一技术转型，有必要建立一个可扩展的、健壮的、具有成本效益的设备制造工艺。在这里，报告了使用市售的金属有机化学气相沉积(MOCVD)系统，以可批量生产、无污染和无转移的方式在蓝宝石晶圆上直接生长高质量单层石墨烯。利用这种方法，基于石墨烯电极的忆阻器被开发出来，并且在包含石墨烯电极的器件制造中使用的所有工艺都可以在晶圆规模上进行。基于石墨烯电极的忆阻器在耐用性、保持性和开/关比方面表现出了很好的特性。这项工作为以商业和技术可持续的方式实现强大的石墨烯基忆阻器提供了一条可能和可行的途径，为未来实现更强大、更紧凑的集成石墨烯电子器件铺平了道路。 图1.(a)石墨烯电极 ………………………………