欣奕华大尺寸GW级钙钛矿RPD设备量产交付

文章预览

9月7日，合肥欣奕华智能机器股份有限公司（下称“合肥欣奕华”）完成新一台大尺寸GW级RPD（反应式等离子体沉积镀膜）设备量产交付。至此，合肥欣奕华近期已陆续向钙钛矿两个龙头客户完成GW级钙钛矿RPD设备量产交付。 RPD设备是合肥欣奕华继钙钛矿蒸镀机之后，推出的又一款大面积钙钛矿真空成膜核心工艺设备，其优势在于可以减少对钙钛矿电池的轰击损害，有利于提高转换效率和良率。由于其制备膜层透光率高、沉积速率快、转换效率高，已逐渐成为大面积钙钛矿量产的重要选择。 图片来源：欣奕华 合肥欣奕华此次出货的大尺寸GW级RPD设备主要用于钙钛矿光伏电池功能层和透明导电膜层制备，可实现高能量粒子对基板零损伤，具有工艺温度低，电阻性能优异、透过率优良等特性，其膜厚均一性、膜厚重复性等关键技术指标均达到国际先进 ………………………………