MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究

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陈俊光、谷专元、何春华、黄钦文、来萍、恩云飞 工业和信息化部电子第五研究所、广东工业大学、华南理工大学 0 引言 微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS) 是集成的微型系统，它结合了电子、机械或其他(磁、液体和热等) 元件，通常采用传统的半导体批量工艺技术来制造。MEMS惯性器件是指敏感结构采用微加工手段加工的微机械陀螺和微加速度计，其中陀螺用于测量运动体的角速度，加速度计用于测量运动体的加速度，它们可单独使用，也可组合使用。 MEMS惯性器件具有体积小、重量轻、功耗低、可大批量生产、成本低、抗过载能力强等一系列优点，因此被广泛应用于生物与医药行业、汽车工业、机器人、消费类电子、航空航天、导弹制导等领域中。MEM ………………………………