基于肖特基型气敏传感器实现痕量二氧化氮的分子特异性传感

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▲共同第一作者：许适溥，周雪涵，许适当 共同通讯作者：许适溥，孙丰强，彭海琳 论文DOI：10.1038/s41467-024-50443-5 （点击文末「阅读原文」，直达链接）     全文速览 本研究提出了表面散射主导的传感机制，并通过肖特基型传感器的多传感信号同步输出，验证了新机制的高灵敏度和分子特异性， 实现了对ppt超痕量二氧化氮的分子特异性传感。     背景介绍 痕量气体的检测对人类生产生活息息相关：例如，人体每天发生新陈代谢，日常呼出气体含疾病标志物，这类疾病标志物分子的浓度非常低，主要浓度范围是1 ppm – 1 ppt [1, 2] ； 因为痕量气体可能导致集成芯片加工良品率的下降，芯片加工环境对痕量气体（包括NO 2 ）的浓度要求很严格 [3] 。值得我们注意的是，诸多气体分子具有很高的化学活性，容易在检测过程中发生浓度衰变，故相应的气 ………………………………