济南大学周伟家InfoMat：激光处理铌酸锂晶圆用于热释电传感器

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摘  要 热释电传感器在军事、医疗、安保等领域都有着重要作用。热释电电荷产生和电荷收集是产生热释电电信号的关键环节。近日，济南大学周伟家教授团队创新性地利用聚焦脉冲激光对铌酸锂晶片进行了表面处理，通过诱导铌酸锂表面等离子体而使晶格氧离子逸出，制备了氧空位结构。该结构通过提升表面电荷传输能力而增强了热释电电荷收集，进而增强了铌酸锂晶片的热释电电压，为改进热释电材料性能提供了新思路。 本文第一作者为硕士生辛笛，通讯作者为济南大学的韩婧讲师，孙德辉副教授、刘晓燕副教授和周伟家教授。 文章简介 本文通过激光处理铌酸锂晶圆，并探究了处理后铌酸锂晶圆的热释电性能。图一展示了加工过程、等离子体光谱和不同条件下的晶片表面温度。对于激光处理中白光的光谱分析说明激光诱导了氧等离子体的产 ………………………………