半导体设备之磐基，国产替代正当时

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一、零部件是半导体设备行业的基石，技术复杂产品种类众多 半导体设备零部件位于产业链上游，为半导体行业发展提供重要支撑。半导体行业遵循 “一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续行业“摩尔定律”的 瓶颈和关键。其中，半导体设备零部件作为半导体设备的关键构成，是决定半导体设备 产业发展水平的关键因素。半导体设备零部件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、 技术含量较高的环节之一，也是国内半导体设备企业“卡脖子”的环节之一，其支撑着半 导体设备行业，继而支撑半导体芯片制造和整个现代电子信息产业。 半导体设备由大量零部件组成，零部件直接决定设备可靠性和稳定性。半导体设备零部 件需要在材料、结构、工艺、品质和精度、可靠性及稳定性等性能方面达到设备及技术 要求。以等 ………………………………