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MEMS压力传感器是传感器行业中市场规模最大的细分市场之一，具有体积小、功耗低、价格便宜等优点。随着时代的发展及人们对健康的重视度提高，电子血压计、呼吸机、制氧机、雾化器、监护仪等开始走进用户家庭，并在健康保健方面发挥着重要的作用。其中的核心器件——MEMS压力传感器，其市场应用规模极大。 在医疗器械领域，压力传感器在检测和响应身体内压力变化方面起着至关重，但在 MEMS 压力传感器实际设计及制造过程中，能够同时满足最优状态的设计结构和工艺较难达到。 针对MEMS压力传感器灵敏度及线性度较难兼顾的问题， Con sen sic 设计了一种可应用于医疗设备、量程从-100KPA~0KPA...700KPA的CPG表压压力传感器，该传感器的性能参数如下表： 参数 最小 典型 最大 单位 备注 供电电压 - 5 10 Vdc 供电电流 - 1 - mAdc 量程 10、40、10
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