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trim工艺有前景吗?

中国科学院半导体研究所  · 公众号  ·  · 2024-06-02 17:40
    

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文章来源: Tom聊芯片智造 原文作者: Tom 什么是trim工艺?未来发展前景如何? 什么是trim工艺? trimming,离子束修整(Ion Beam Trimming),离子束修整利用高能离子束来物理移除材料表面上的特定区域,从而达到精确控制膜厚均匀性的目的。用途有: 1,体声波 (BAW) 或表面声波 (SAW) 滤波器的频率调整 2,SOI、石英、钽酸锂 (LT) 或铌酸锂 (LN) 晶圆的厚度修整 3,硬盘读写头膜厚校正 4,MEMS 结构的尺寸校正 5,X 射线镜的形状误差校正     Trimming是芯片设计制造过程中常见的一种方法。它是指:在芯片完成制造加工后,通过特定的方法,改变芯片内部某些器件的连接方式或者工作状态,以达到改变芯片性能或者功能的目的。通常要实现trimming,有几个必要条件: 需要芯片设计trimming功能 需要外部设备测试芯片性能或者功能,以确定需要trimming的部分 需要外 ………………………………

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